電子廠凈化車間對于電器凈化的要求

電子廠凈化車間對于電器凈化的要求

一、電子廠凈化車間的照明要求：超凈室照度>150(LUX)，員工工作區250LUX。

二、凈化室照明控制要求:

1.凈分間照明可采用局部控制加分片總控制，單開關控制照明不超過20個；

2.PECVD照明控制要求離PECVD沉積室有一定距離(大于8米)；燈管要求120度耐高溫，但不直接安裝在PECVD頂部，應設計在兩個沉積室的中間或前部。

三、凈化器插座的安裝位置和高度要求:

1.需要在凈化室的每根柱子上安裝插座板，面板需要距地面75cm的兩個孔插座和三個孔插座

2.在非凈化區域的凈化區域的每根柱子上也需要安裝插座面板，面板上需要兩個插座和一個離地面75厘米的三孔插座；

四、照明、插座和電力設備的供電場所

1.燈具和插座共享主電源，照明也需要漏電，電源從現場的配電室引入，電力也從現場的電室引入，天花板以上需要修理的電源。

五、消防電源的導入位置。

1.在電子廠凈化車間配電室，將低壓柜引入兩個不同的變壓器。

2.安全標志、應急燈均按標準設計清潔現場(盡量利用現有土建工程設計的部分)。

六、非超凈室照明要求：

1.超純水房和空調房的照度為100LUX；

2.氣體室照度為100LUX，氣體室照明為防爆燈。

3.磨邊區域和組件后部照度為150LUX，工作區域為250LUX，采用節能燈(鋁合金廣照燈)。

七、過程設備功率:

1.工藝設備用電應根據設備需要確定設備配有電纜，設備電纜應符合設備工藝用電要求，確保設備用電安全；

2.精密設備和其它動力設備需分開拉線，如激光設備的電纜需與其它設備電力分開。

八、配電箱設計：

1.在設計過程中，除了主要電力設備的開度外，各配電箱還需要留出一些備用空間，以滿足部分設備和維修接電的增加。

九、電子廠凈化車間配電室接地:

因為車間設備是大功率設備，所以在使用過程中會產生很大的電流。因此，在建造電氣房屋的過程中，應做好電氣房屋的接地工作，以確保車間設備的安全使用。