電子廠凈化車間對于電器凈化的要求
電子廠凈化車間對于電器凈化的要求
一、電子廠凈化車間的照明要求:超凈室照度>150(LUX),員工工作區250LUX。
二、凈化室照明控制要求:
1.凈分間照明可采用局部控制加分片總控制,單開關控制照明不超過20個;
2.PECVD照明控制要求離PECVD沉積室有一定距離(大于8米);燈管要求120度耐高溫,但不直接安裝在PECVD頂部,應設計在兩個沉積室的中間或前部。
三、凈化器插座的安裝位置和高度要求:
1.需要在凈化室的每根柱子上安裝插座板,面板需要距地面75cm的兩個孔插座和三個孔插座
2.在非凈化區域的凈化區域的每根柱子上也需要安裝插座面板,面板上需要兩個插座和一個離地面75厘米的三孔插座;
四、照明、插座和電力設備的供電場所
1.燈具和插座共享主電源,照明也需要漏電,電源從現場的配電室引入,電力也從現場的電室引入,天花板以上需要修理的電源。
五、消防電源的導入位置。
1.在電子廠凈化車間配電室,將低壓柜引入兩個不同的變壓器。
2.安全標志、應急燈均按標準設計清潔現場(盡量利用現有土建工程設計的部分)。
六、非超凈室照明要求:
1.超純水房和空調房的照度為100LUX;
2.氣體室照度為100LUX,氣體室照明為防爆燈。
3.磨邊區域和組件后部照度為150LUX,工作區域為250LUX,采用節能燈(鋁合金廣照燈)。
七、過程設備功率:
1.工藝設備用電應根據設備需要確定設備配有電纜,設備電纜應符合設備工藝用電要求,確保設備用電安全;
2.精密設備和其它動力設備需分開拉線,如激光設備的電纜需與其它設備電力分開。
八、配電箱設計:
1.在設計過程中,除了主要電力設備的開度外,各配電箱還需要留出一些備用空間,以滿足部分設備和維修接電的增加。
九、電子廠凈化車間配電室接地:
因為車間設備是大功率設備,所以在使用過程中會產生很大的電流。因此,在建造電氣房屋的過程中,應做好電氣房屋的接地工作,以確保車間設備的安全使用。
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